大型通用長度測量儀器，直接測量范圍大。配備水平基床的比較儀（高度同質、堅硬花崗石）
X 軸測量系統：Heidenhain 增量，精密長度測量系統，100
mm 長的測量元素
基床中載物臺左和右側的整個基床長度上的 Heidenhain 增量入射光測量系統
Z 軸測量系統：RENISHAW 增量，精密長度測量系統，長度 80 mm
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ULM 520 S-E |
ULM 1000 S-E |
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設備尺寸 |
1080 x 380 x 480 |
1500 x 380 x 480 |
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外測量的測量范圍 [mm] |
0 至 520 |
0 至 1025 |
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內測量的測量范圍 [mm] |
0.5 至 365 |
0.5 至 870 |
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直接測量范圍 [mm] |
外測量：0 至 520 |
外測量：0 至 1025 |
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測量不確定性 MPEE1 (L in mm) [μm] |
僅 ABBE 測量元素：MPE E1
?(0.09+L/2000) |
僅 ABBE 測量元素：MPE E1
?(0.09+L/2000) |
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測量力 [N] |
0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
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可重復性 [μm] |
Abbe 測量元素：?0.05 |
Abbe 測量元素：?0.05 |
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設備長度 [mm] |
1080 |
1500 |
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質量 [kg] |
160 |
215 |
校準
大量附件和模塊化組件，可解決各種測量任務，包括以下測量：
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